Effect of ITO target crystallinity on the properties of sputtering deposited ITO films
2020
期刊
Ceramics International
作者
Shumin Yang
· Benshuang Sun
· Yang Liu
· Jinpeng Zhu
· Jianxun Song
· Zhenhua Hao
· Xueyun Zeng
· Xu Zhao
· Yongchun Shu
· Jie Chen
· Jianhong Yi
· Jilin He
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- 卷 46
- 期 5
- 页码 6342-6350
- Elsevier BV
- ISSN: 0272-8842
- DOI: 10.1016/j.ceramint.2019.11.110