array(2) { ["lab"]=> string(3) "126" ["publication"]=> string(4) "1122" } Air-gap/SiO<inf>2</inf> liner TSVs with improved electrical performance - M.AI.N GROUP | LabXing
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M.AI.N GROUP

简介

大学 清华大学 / 微电子与纳电子学系
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Air-gap/SiO<inf>2</inf> liner TSVs with improved electrical performance

2015
会议 2015 International 3D Systems Integration Conference (3DIC)
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