Delamination of bonding Interface between benzocyclobutene (BCB) and silicon dioxide/silicon nitride

array(2) { ["lab"]=> string(3) "126" ["publication"]=> string(4) "1118" } Delamination of bonding Interface between benzocyclobutene (BCB) and silicon dioxide/silicon nitride - M.AI.N GROUP | LabXing

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2016

期刊 Microelectronics Reliability

作者 Fan Bu · Qing Ma · Zheyao Wang

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卷 65
页码 225-233
Elsevier BV
ISSN: 0026-2714
DOI: 10.1016/j.microrel.2016.08.003

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